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极限全压力和极限分压力    极限全压力：由皮拉尼计或热偶真空计测出真空泵一切物质（气体）产生压强的总和。国外目前注重全压强的测试指标。极限分压力：用紧缩式真空计（麦氏计）测得的泵的极限空气分压力，双级旋片泵分压力应为≤6×10-5kPa.极限全压力与极限分压力差值请求不大于一个数量级。二者之间的差值越大，泵油中含有的挥发成分就越多，油品的性质就越差。

油封机械真空泵是使用的一种，它有单级、双级式，但性能较差，目前有润滑阀式真空泵，用于大型真空设备的排气方面，应用较广，单级泵极限真空可达1.3×10-4kPa，抽速为1200L/s。滑片式真空泵是所有低真空中使用广、生产品种全的泵，常用于真空冶炼、真空干燥、真空处理、电子器件排气等，也可以作为高真空的前级泵，极限真空1.3×10 -4～1.3×10-5kPa。

水环式真空泵工作原理如原理图：在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮按图中指示的方向顺时针旋转时，水被叶轮抛向四周，由于离心力的作用，水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的上部分内表面恰好与叶轮轮毂相切，水环的下部内表面刚好与叶片顶端接触（实际上叶片在水环内有一定的插入深度）。

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（3）高真空泵 极限压力在10-1~10-5Pa的真空泵归属于高真空泵。广泛的高真空泵有各式各样扩散泵及分子泵等。 （4）超高真空泵 极限压力低于10-5Pa的真空泵归属于超高真空泵。超高真空泵重要有各式各样离子泵、低温泵等。